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精密几何尺寸测量是确保产品精度和质量控制的关键技术。它依赖于多种高精度测量技术和方法，以确保测量结果的准确性和可靠性。
光学测量是精密几何尺寸测量中常用的一种方法。它利用光的干涉、衍射和反射等特性，通过显微镜、干涉仪等工具对微小尺寸进行精确测量。此外，激光测距技术也广泛应用于精密测量领域，其高方向性和单色性使得测量精度较高。
机械测量则是利用精密机械装置，如游标卡尺、千分尺、三坐标测量机等，通过机械接触的方式进行尺寸测量。这些测量工具具有高精度和稳定性，适用于各种尺寸范围的测量。
电子测量技术则结合了电子技术的高精度和计算机的数据处理能力，通过传感器、测量电路和数据处理软件等实现非接触式测量。例如，电子显微镜和扫描隧道显微镜等高精度电子测量仪器，能够测量纳米级别的几何尺寸。
综上所述，精密几何尺寸测量依赖于多种高精度测量技术和方法，每种方法都有其独特的优势和适用范围。在实际应用中，需要根据测量需求选择合适的测量技术和工具，以确保测量结果的准确性和可靠性。
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